شتاب سنج MEMS (سیستمهای میکرو الکترومکانیکی) یک سنسور مینیاتوری است که برای اندازهگیری شتاب استفاده میشود. معمولاً در طیف گستردهای از دستگاهها، از جمله گوشیهای هوشمند، ردیابهای تناسب اندام، سیستمهای کیسه هوای خودرو، هواپیماهای بدون سرنشین و بسیاری از برنامههای کاربردی دیگر یافت میشود. شتاب سنج های MEMS به دلیل اندازه کوچک، مصرف انرژی کم و دقت بالا شناخته شده اند …